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实验室气路改造设计有那些要求？

　　1、为了便于气瓶的更换，气瓶连接器和调节阀之间应设置耐高压金属软管。

　　2.为了防止整个系统回火，应安装防爆止回阀。

　　3.气体在进入使用点之前，为了便于控制气体开关，应提供一个使用点球阀。

　　4.为了保持气体的纯度和管道系统的气密性，所有管道均为316L不锈钢管道，内表面经AP处理。

　　5.为了便于阀门部件的维护和更换，管道与阀门部件之间的连接应采用高压双卡套接头连接。

　　6.管道固定部件(管夹)应由耐高温金属材料制成，并应牢固、轻便和耐用。

　　7.考虑到坚固、耐腐蚀、使用方便、外形美观等原因，调压阀的控制面板采用不锈钢制成。

　　8.为了保证气体输出压力的稳定性和气体的纯度，选择了二级减压系统(即采用一级减压系统和二级减压系统，二级减压设备系统自带)。

特种气体管道流程

其现场基本的施工程序为：施工图纸会审﹣→施工***编写﹣→预制间的搭设﹣→施工机具的准备﹣→施工人员的培训﹣→预制图纸的编写﹣→管道的预制﹣→管道的现场安装﹣→系统检测﹣→系统验收

1.预制间的选择

特种气体管道的施工对环境的要求比较高，管道施工采用大批量预制然后现场 安装的方法。按照标准，预制作业需要在洁净度达到百级的净化间进行，作业人员也按照百级净化间的管理着装。因此对于大宗特气项目，一般都建有一个标准的预制间。

但我们在实际的施工中，管道工程生产商，大宗特气项目很少，一般都是简单系统和常规系统，为了节约成本和资金，在要求不是很高的情况下、一般采用在施工现场找一块相对洁净的房间采取一定的防尘措施就地施工，除作业人员和检察人员外，管道工程公司，应禁止无关人员出入。如果业主要求比较严格，也采用彩钢板搭设一个简单的预制件，房间内铺上地板革，在屋中用洁净塑料布封出一块装上两台层流罩，做一个简单的净化空间，进行管道的预制工作。

2.主要的施工机具

特种气体管道的主要施工机具有:全自动轨道焊机(D100、MIOO等)管道切割机(GF锯)、管子割刀、平口机、弯管器、倒角器、管口毛刺修理刮i刀、有的需要配置电源稳压器、防止施工现场电流波动对焊接质量造成影响、台虎钳、配电箱、拖线盘、台钻、电钻、冲击钻、切割机、电焊机、其他辅助工具。

高纯气体管道配管

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU)，为了达到工艺对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，吴江区工程，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。

管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing amp; Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。