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高纯气体配管及附件材质的选择

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管。

注：①管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高i级别的SS316L-EP管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。

②对于自燃爆i炸，有剧i毒的特种气体，如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP，气体管道安装厂家，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间抽成真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。

通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。

气体管路施工技术要求及验收标准？

施工要求：

1、所有不锈钢管道两端用塑料盖密封，外部有塑料套密封，在进入施工现场后，安装前，方可将塑料套拆封，并除去塑料盖。

2、管道铺设时，昆山气体管道安装，应注意平直，弯管处采用专用弯管器，不得徒手弯曲，切断管道时，用专用切管器操作，严禁用锯子锯断管道。管道切断后，气体管道安装哪家好，应用专用工具处理断口，严禁用普通锉刀处理。

3、在管道的行进路线中，每隔l米应设置一组管夹，气体管道安装价格，如遇特殊建筑物结构，应酌情考虑。

4、管道穿墙及穿地板时，应设置套管，套管与管道之间的空隙，应采用不可燃烧的材料填充。

5、管道采用全自动焊机焊接方式衔接。

6、所有螺纹连接处应采用密封带密封。

7、所有系统部件安装完毕后，应用高纯氮气进行三遍以上的大流量吹扫。

8、在整个施工过程中，应注意施工安全。

(4)验收说明

施工结束后，用高纯氮气进行检漏保压测试，测试压力应为工作压力的1.25倍。试压规定时间后，压力表读数变化小于0.5%(根据GB金属工业管道施工及验收标准)。

以上管道、各种阀件品牌、材质，连接方式及其相关工艺流程等需严格按标书要求响应，须符合***标准。

实验室高纯气体管道工程主要的作用是什么?

　　主要是为试实验室选用的分析设备提供量值和压力稳定的标准气体，保证其储存和使用的安全性。保障分析测试人员在实验中免受******气体的侵害。按照国标要求，将所用全部气体存放于储气间，并实现集中输送，组成***供气系统。

　　实验室高纯气体管道工程采用一拖一、一拖多、多拖一和多拖多的管道式输气方式，在一拖多时能够实现分段控制和在多拖一和多拖多时能够实现切换控制;并能够保证标准气体流量、压力稳定和量值传递不发生变化，满足分析检测设备对使用气体的技术要求。