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配管的准备工作

(1)无论多大压力、何种介质及何种用途的配管，下料时均不得采用氧、乙i炔焰切割。无论是机械或手工下料，分段处不得涂抹油脂或使用润滑剂。

(2)管子切口应当与管轴线严格垂直，切口表面平整，不得有裂纹、毛刺。

(3)各种阀门应在安装前清洗，清洗前先应研磨、试压合格，然后拆成零部件，并在CCl4溶剂中浸泡1~1.5h。安全阀清洗后应当重新试压。

(4)波纹管等无法拆解成零部件的阀门，应在组装的情况下清洗。对清洗的效果可用下法检查:从阀门入口处注入清洗溶剂，并使溶剂流经阀门各处，阀门流出的溶剂过滤后用显微镜检查过滤器表面情况是否符合设计要求。

(5)采用普通不锈钢管时，其表面若粘附有油污，安装后清洗十分困难，应当将原管放入清洗槽内清洗。管道内壁的酸洗工作，必须保证清除掉的锈蚀部分而不损害未锈蚀的表面。

(6)氧气管路的阀门、附件等，应当严格禁油，实验室气体管道安装价格，并在安装前按有关要求严格脱脂。

3.金属管道的连接

(1)管道材质。用于输送高纯气体的金属管道材质主要有:

1)低碳不锈钢。大流量高纯、高洁净气体原则上全部采用低碳不锈钢管。

2)铜管。在半导体企业中，个别生产工艺如GaAs的操作，为了防止产生器件电阻，不允许使用铜制管路及其附件，只能使用不锈钢材料。

气体管道怎么安装？

1.终端设计布局

a) 系统设计为二级调压面板系统。终端采用壁挂式设计，面板上设有调压阀、输出压力指示表、紧急切断阀（球阀/隔膜阀），同一墙面气路的呈上下对应并排或上下交错排布，方便操作及美观。面板为不锈钢材质。（具体安装位置参见图纸）

注：壁挂式终端标准型，该终端可以实现在室内对设备的压力调节、输出压力的监控及气路开关控制，省去了每日往返于气瓶间和实验室的奔波，提高了办事效率。

b) 控制终端上的气体出口尺寸要与设备的气体入口尺寸相对应，气体出口接头还应方便安装。

2.气路的布线

a) 气瓶间内一级调压装置面板与实验室内的气路终端之间选用SS316L EP/ BA管进行连接，管道内表面光洁度为Ra＜0.1-0.3UM管道。

b) 主管线采用OD1/2”(12.7MM)的管道（具体管道尺寸根据流量压力长度来确定）0.5MPA压力下流量可达到20m3/H，完全满足常规用气需求，支管采用OD1/4”(6.35MM)的管道，用焊接三通/弯通分出支路来对设备进行供气。

c) 管道穿过障碍物时须使用管套并采用不可燃材料填充间隙，管道需用固定卡具固定在管道的支架上，管道支架为槽钢结构，材质为镀锌或者不锈钢，美观大方，与墙体和管道固定牢固。

d) 气体管路在铺设过程中要做到横平竖直，为保证管道走线的直线度和管道间的间距，每间隔一定距离应设置一组管卡，卡具应由不燃材料制作而成。

e) 管道之间采用***的美国全自动***轨道式TIG进行内外保护（TIG）方式连接，其优点是泄漏率可到1 x 10-9 cc.atm/sec.He，且不会再内表面产生氧化层或褶皱等焊接缺陷。

f) 应尽量减少弯曲以防止被传输的气体压力、流量损失过大。压力管道拐弯应力集中区应由安全加固，设计合适的拐弯半径，弯曲部位不能有皱折及扭曲，管道小的可用***的工具配合使用，管道大的应采用弯头焊接或者卡套形式连接，以确保使用流畅。

特气管道工程

　　特气就是特种气体，指那些在特定领域中应用的， 对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体门类繁多， 通常可区分为电子气体、标准气、环保气、***气、焊接气、杀菌气等， 广泛用于电子、电力、石油化工、采i矿、钢铁、有色金属冶炼、热力工程、生化、环境监测、***研究及诊断、食品保鲜等领域。区别于我们呼吸的空气（含21%氧，78%氮，1%水、二氧化碳等），其纯度一般在99.99%（4N）以上。

　　特气管道施工一般分为主系统，二次配主系统，实验室气体管道安装，根据客户要求有气源送到用气点附近的管道一般没有什么***，只要根据客户要求按照规范去施工，二次配管VMB阀箱预留阀到机台接点之间的管道施工，一般都会在无尘室进行，实验室气体管道安装厂家，二次配管的***在于主通道已经通上气体介质，我们在无尘室施工，要在客户工程师的陪同下进行，对于无尘室的阀门及类似阀门的开关，不要乱动，无尘室都会安装气体探头和气体***报警装置，一旦有气体***，我们应丢下手中任何工作，通过安全指示撤出无尘室。