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发布时间:2019-12-21 10:19:43
实验室气体的供气方式
采用中压供气,二级减压的供气方式,气瓶气体压力为12.5MPa,经一级减压后为1MPa(管路压力1MPa),送至用气点,经二级减压后为0.3——0.5 MPa(根据仪器需求)送至仪器,管道工程哪家好,供气压力比较稳定。
实验室气体管道的材质要求
(1)对所有气体无渗透性
(2)吸附效应***少
(3)对所输送的气体呈化学惰性
(4)能快速使输送的气体达到平衡
注:化学物质腐蚀影响等级 A—没有影响 B—轻微影响 C—中度影响 D—严重影响
316不锈钢是继304不锈钢之后,第二个得到***广泛应用的钢种,具有较好的耐腐蚀性,耐高温,强度优i秀等特点,所以我们一直用 316无缝不锈钢管。
实验室气体管道供气系统
实验室气路安装指实验室气体工程,即从气瓶至仪器终端之间连接管线,JHP一般有气体切换装置-减压装置-阀门-管线-过滤器-报警器-终端箱-调节阀等部分组成。目前主流气路编排主要为实验室集中供气系统。
公司提供全i方位的实验室气体管道供气系统,满足不同实验的用气要求与安全。采用汇流排供气设备,进行双瓶带手动、半自动、全自动切换功能,带有低压报警装置,实时监控气体压力,浓度侦测报警和排风,保证客户正常用气需求和生命财产安全。
高纯气体配管及附件材质的选择
选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不锈钢电抛光管(SS316L-EP)等,管道工程怎么样,但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10-6及以下的管材应用SS316L-EP管。
注:①管路型式以气体特性设计,惰性气体使用一般的单层管,相门区管道工程,作为制程用的反应气体,管道工程生产商,则选用高i级别的SS316L-EP管;使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。
②对于自燃爆i炸,有剧i毒的特种气体,如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管,它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP,此设计的主要目的有两点,首先可保护内管直接受到外力撞击,其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管,并利用相关的检测设备检测,目前常用的设计有正压和负压两种方式,负压设计是将内外管间抽成真空,正压设计则是灌以氮气维持正压,两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。
通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等,目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。
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