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发布时间:2020-01-07 10:02:13
高纯气体管路的设计要点:
1.对于不同特性的气体,要规划***的供应区域,一般分为三个区:腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区,江苏工程,将相同性质的气体集中加强管理,可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口,若空间不足,可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。
2.管路设计需要考虑输送的距离,距离越长,成本越高,风险也越高,通常较合理的设计流速为20ml/S,可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S,在用量设计方面,则需要考虑使用点的压力和管径大小,前者与气体特性有关,后者使用点的管径一般为1/4”~3/8”。
3.根据用气设备的分布情况,高纯气体的管网不宜过大或者过长;宜采用不封闭的环形管路,在系统末端连续不断排放少量的气体,管道工程哪家好,以便在管网中总有高纯气体流通,不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。
4.管路中应减少不流动气体的“死空间”,不应设有盲管,在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除,管道工程公司,以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物,降低气体纯度。
5.对高纯气体纯度要求不同的用气设备,宜采用分等级高纯气体输送系统;也可采用同等级输送系统,但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。
6.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系统除了设置必要的连续检测仪器,如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外,还应设置定期取样用的检测采样口,以便按规定时间进行采样,分析高纯气体中各种杂质的含量。
7.在亚微米级的集成电路生产中,要求供应10-9级的高纯气体,为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度,使气体中的杂质含量(包括尘粒)控制在规定的数值内,一般在设备前设置末端纯化装置,或末端高精度气体过滤器。
实验室气路工程
建设标准化规范化的实验室,是需要配备***的分析仪器(ICP/GC等)的,为了让技术人员更安全、方便、***地使用这些分析仪器,选择正确又合适的供气模式也是其中不可或缺的一环,近年来,实验室高纯度集中供气模式被广泛应用,它主要由以下部分组成:
☆气站:包括气源、带吹扫自动切换装置、不锈钢盘管或金属软管、一级减压装置、二级减压阀装置、单瓶汇排流、双瓶汇排流、三瓶汇排流、末端/终端减压阀装置、气瓶装置、欠压报警装置、***报警装置等 。
☆输送系统:
供气管道采用316L高洁净无缝不锈钢管
管路尺寸:1”、1/2”、3/8”、1/4”、 1/16、1/8” 、3” 、6”……
洁净级别:EP、BA、AP……BAi级钢管壁厚只能做到2mm
通过卡套接头或焊接接头进行连接;
集中供气系统——让客户尽享安全、便利、***
实验室气体的***性:
1、有部分气体具有易i燃、易i爆、***、强腐蚀等特性,其一旦泄漏,就可能会对工作人员及仪器设备造成伤害;
2、多种气体在同一个环境下使用,如果有两种会发生燃烧或爆i炸等强烈化学反应的气体同时泄漏,就可能对工作人员以及仪器设备造成伤害;
4、多数气瓶出口压力可达15MPa,即150公斤/cm2,如果发生气瓶口减压装置失灵,就有可能将一些部件激i射出去,其能量对***或设备都具有致命性的伤害。
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