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高纯气体管道配管

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU)，为了达到工艺对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，浙江真空管道安装，并在图纸中注明管道材质。

管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing amp; Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。

气路系统百科知识

一、气瓶间。

　　1、钢瓶间的设计宜设在中心化验室的主入口侧，并应采取遮阳防晒措施，当钢瓶间与建筑物为一体时，隔墙应为钢筋混凝土防爆墙。

　　2、通风良好，并具有足够的泄爆面积，室内地面应有防火花，防静电措施;

　　3、可燃气体钢瓶(H2，江苏真空管道安装，C2H2)与助燃气体钢瓶(O2)应隔开布置;

　　4、还应设立***报警系统。

　　二、色谱室。

　　1、中心化验室的管道应统筹规划、集中布置，以便于安装、操作和检修为布置原则;

　　2、引入中心化验室的工艺管道总管应设切断阀，并根据需要设置压力表、温度计、流量计、过滤器和减压阀等。阀门或仪表宜设置在便于观察和检修的位置;

　　3、可燃易i爆气体如氢气、乙i炔、氧气等宜明线铺设;

　　4、管道宜集中布置并沿墙明设，且方便安装及检修;

　　5、使用钢瓶气管道的设备台应离墙布置，留出的维修空间不宜小于600mm;

　　6、氢气管道宜采用焊接连接，不应采用螺纹连接和使用闸阀。

气体管道安装

在实验室设计领域中，实验室供气系统的规划设计是相当重要的。不仅是给试验操作人员一个良好的工作环境，更加是对试验人员的人身安全的一个保障。所以在实验室设计之初我们就应该把供气系统的设计规范考虑进去。相应等级的实验室就应该有相应的设计规范，这样才能完i美的设计出一个利于工作而保证安全的实验室。

一、气瓶间及气瓶的安全规范

（1）气瓶应专瓶专用，不能随意改装其它种类的气体。

（2）气瓶室严禁靠近火源、热源和有腐蚀性的环境。

（3）气瓶室必须使用防爆开关和灯具，周围禁止动用明火。

（4）气瓶室应有通风设备，保持阴凉，气瓶室顶部应该留有泄流孔防止易i燃气体的聚集。

（5）空瓶与实瓶分区放置，真空管道安装，气瓶室易i燃易i爆气瓶应该与助燃气瓶隔离。

（6）瓶阀、接管螺丝和减压阀等附件完好齐全，无漏气、滑丝、表针松动等***情况，各类气压表一般不得混用。

（7）气瓶在储存、使用时必须直立放置，工作地点不固定且移动频繁时，应固定在专用手推车上，防止倾倒，严禁卧放使用。

（8）气瓶严禁靠近火源、热源和电气设备，与明火距离不少于10m，真空管道安装怎么样，氧气瓶和乙i炔气瓶同时使用时，不能放在一起。

（9）使用后的空瓶，应移至空瓶存放区，并加上空瓶的标示，严禁空瓶与实瓶混存。

（10）气瓶中气体不可用尽，必须保持一定余压。

（11 ）气瓶须定期检验，不得超过使用氧气瓶、乙i炔气瓶，液化石油i气瓶的检验周期为3年、氮气瓶的检验周期为5年。

（12）气瓶应放在主体建筑物之外的气瓶存放间。对日用气量不超过一瓶的气体，实验室内可放置一个该种气体的气瓶，但气瓶应有安全防护设施。

（13）氢气和氮气的气瓶存放间应有每小时不小于三次换气的通风措施。