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采i矿工业用作反吸附剂，用于矿井煤尘中置换氧。高纯SF6还因其化学惰性、***、不燃及无腐蚀性，还被广泛应用于金属冶炼(如镁合金熔化炉保护气体)、航空航天、医i疗(Xi光机、激光机)、气象(示踪分析)、化工(高i级汽车轮胎、新型灭火器)等。随着当今科技的发展，SF6涉及的领域不断扩展，被越来越多的基础领域和科技领域广泛应用。

六氟化硫气体的熄弧性能也是非常好的，这有以下几个方面的原因:

六氟化硫气体在电弧的作用下会发生分解和游离，有多原子结构分子分解为单原子或带电粒子的气体，在2000℃左右开始分解为低氟化物，4000℃左右开始游离，6000℃左右时游离的迅速，当温度高于10000℃时，六氟化硫气体就全部游离了;这种内部的变化将影响气体的导热、导电性能，使它的导热、导电性能大大增强。

气体导热性能增强，电弧的散热就加快了，这样就有利于电弧熄灭后间隙中的绝缘介质迅速降温，有利于低氟化物复合成六氟化硫，同时有利于***绝缘，大大降低了电弧的复燃，有利于熄弧。

对于气体导电性能增强有利于熄弧的原因，可能有点不太好理解，导电性能增强了只会有利于燃弧，怎么会有利于熄弧呢?原因是这样的:导电性能增强了确实有利于燃弧，通过几种气体电弧的伏安特性曲线可以发现，六氟化硫气体的伏安特性曲线i低，也就是说，在电流相同的情况下，六氟化硫气体的电弧电压i低，而电弧能量就是Uh*I，也i低，电弧在电流很小的情况下也能维持，不会发生断裂，这样就不会发生截流现象，这也是六氟化硫气体比较优越的地方;我们知道现在的六氟化硫断路器都是在电弧电流过零时熄灭的，电弧在燃弧时电弧能量小，电弧的温度和分解的气体就相对也较少，这对于电流过零后间隙的绝缘强度的***非常有利，使得熄弧后很难发生重燃或复燃，所以六氟化硫气体既有利于燃弧，又有利于熄弧。

此外，六氟化硫气体的负电性(吸附自由电子的特性)和二次复合特性(在电弧中分解的***氟化物在熄弧后迅速还原成六氟化硫分子)，这些特性也使得六氟化硫气体无论是在起始介质强度、介质***速度还是终的介质强度都是比较高的。

直接电解法　将硫、、一氯化硫、或等加入到无水中，以镍为阳极进行电解即可制得六氟化硫。用与无水***电解时，以镍作极，铁作阴极，温度为－10～20℃，电压为7～20V。电解产物应除去杂质;催化氧化法　金属氧化物为催化剂，于300℃下，用空气氧化，该法缺点是收率过低。热解法，在500～2000℃使SF4热解，但该法的转换率及收率皆低，采用微波放电分解SF4亦可。