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发布时间:2020-09-25 03:35:01
集中供气系统
集中供气系统又称***供气系统(Central Gas Supply System),是一种越来越普遍被人们采用的一种供气方式。它主要是由气源,切换装置,调压装置,终端用气点,监控及报警装置组成。
简而言之,山东气体管道安装,集中供气系统将***储气设备中的气体经切换装置并调压后通过管路系统输送到各个分散的终端用气点。工厂车间和实验室过去分散的钢瓶供气方式变得越来越过时并逐渐被废弃不用。当代大型工厂车间中的各类耗气设备和大多数实验室中的各种分析仪器如色谱仪或质谱仪都需要连续使用载气和燃料气,因此车间和实验室的管理者需要考虑如何实现这些气体的连续、稳定和安全的供给,可以用高压钢瓶、液体杜瓦瓶、集中供气系统或综合上述几种方法来进行供气。基于安全和效率因素,不考虑经仪经济性因素,集中供气系统变得越来越普遍,并成为当今实验室设备中高纯气体的可靠连续的供应源。在某些情况下,当地消防规范建议甚至要求将主要的气体源如钢瓶、杜瓦瓶和液体储槽
放置在工作区外的指i定区域,然后将气体通过管道系统输送至厂房内,并可通过安装在工作台上的使用点二级减压器方便地调节压力和流量。
各种气体配管配件要求
在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。
高纯氮气(PN2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氮气(N2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
高纯氢气(PH2)氢气(H2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氦气(He):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
特气系统:必要的还需做双套管:外管酸洗钝化(AP)处理,内管电解抛光(EP),阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
对于特殊气体来讲,气体品种多,******气体多,原来是一机台配一气柜,高昂的装备组合和维修费用大大增加了***成本,且有的还布置在工艺间内,存在着泄漏的安全隐患。现在广泛采用集中供气系统,上海气体管道安装,气柜集中,内蒙古气体管道安装,自控系统不断完善,其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟,特气间也与工艺间隔离,并对房间有防爆要求,工作的安全性大大提高。
实验室气体管道安装
【实验室气体管路要求】
1、所有气体管路都由高质量的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管组成。铜管只使用在气体管路的末端,对气体纯度要求不是太严格的地方。(比如通风柜)。
2、气体管道不得和电缆、导电线路同架铺设。
3、易i燃气体,如乙i炔需要和其他气体分开单独引入。氢气管道若与其他可燃气体管道平行敷设时,其间距不应小于0.5M;交叉敷设时间距不应小于0.25M。分层敷设时氢气管道应位于上方。
4、压缩空气在管路上有过滤杂质和水分的净化装置,此净化装置需要并联一路,用单独的阀门隔离,气体管道安装,以方便对过滤装置进行维修。
5、高纯气体管路的连接为无缝焊接。连接到阀门或调节装置时才可以使用接头配件。
6、 每个实验室都要有单独的控制阀、减压阀和压力表。
7、引到工作台的气体管路要安装单独的控制阀。工作台上要均匀排放各种气体的控制阀门。在氦气管路前面建议安装气体净化装置。
8、每隔1.5米左右,气体管路就需要有支架。另外根据气体管路弯曲的半径,设置合适的支架位置。所有弯曲处都要有支撑。气体管路所有的支架都要进行镀锌防腐处理。
9、不锈钢管件在现场安装时方可启封,启封后均要适用5N的高纯气体吹扫后才能接入系统。整个系统安装完成后,还要再使用5N的高纯氮气进行大流量吹扫,以确保整个系统的洁净度。
10、供气系统安装完成后,根据要求进行相关的强度测试、密封测试和稳定性测试。
【实验室气体管路安装检验】
实验室承包商要保证气体管路系统的清洁,所有气体管路的检验根据标准程序。气体管路要做压力检验,防止管路泄漏。
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